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盛美半導體設備上海臨港研發及生產中心項目正式啟動

近日，臨港新片區集成電路產業領域不斷傳來好消息。昨天，盛美半導體設備(上海)股份有限公司位于臨港新片區的上海臨港研發及生產中心項目正式啟動。12月28日，積塔半導體特色工藝生產線首臺光刻設備搬入臨港工廠，標志著積塔半導體從建設期向生產運營期邁出重要一步，為2020年底實現批量生產打下基礎。

圖說：盛美半導體設備公司正式啟動臨港研發及生產中心項目。主辦方供圖

盛美公司是首家赴美上市的中國半導體設備公司，致力于為集成電路制造業提供先進的晶圓清洗和濕法加工設備，形成了以清洗機、電鍍機和先進封裝濕法設備為主的產品線。此次啟動的臨港研發及生產中心項目由盛美上海公司在臨港的全資子公司運營，該項目已納入盛美全球化發展的整體布局，將建設成為盛美全球主要研發及生產基地。

上海積塔半導體特色工藝生產線項目是上海市重大工程，總投資359億元。該項目位于臨港裝備產業區，占地面積23萬平方米，建成投產后，將進一步幫助完善臨港與上海打造集成電路產業高地布局，發揮產業集聚效應，加快建設具有國際競爭力的綜合性產業集群。

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